Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
Душик В. В., Ракоч А. Г., Лахоткин Ю. В., Гладкова А. А.
В курсе лекций содержатся современные представления о технологиях химического газофазного осаждения защитных покрытий. Описаны физико-химические основы газофазного синтеза функциональных слоев различного назначения, показаны способы формирования защитных коррозионностойких и износостойких покрытий. Представлен фторидный метод получения покрытий на основе вольфрама, его сплавов и соединений.
Курс лекций предназначен для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 150701 «Физико-химия процессов и материалов», а также студентов бакалавриата и магистратуры, обучающихся по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов» (профиль «Физико-химия процессов и материалов»).
ISBN: 978-5-87623-737-8
Страницы: 64
Переплет: мягкий
Издатель: НИТУ МИСиС
Язык: Русский
Год издания: 2013
Информацию о наличии издания и его цену можно узнать по эл. почте books@rudmet.ru.
Оглавление:
Введение
1. Основы химического газофазного осаждения
1.1. Разновидности методов химического газофазного осаждения
1.2. Термодинамический анализ процессов химического газофазного осаждения
1.3. Кинетика процессов химического осаждения из газовой фазы и механизм переноса вещества
1.4. Структура и адгезия покрытий
2. Химическое газофазное осаждение металлических и керамических материалов
2.1. Спектр CVD покрытий и материалов
2.2. Типы реакций химического газофазного синтеза
2.3. Распространенные CVD прекурсоры
2.4. Химическое газофазное осаждение металлов
2.5. Химическое газофазное осаждение карбидов и нитридов
3. Оборудование для химического газофазного осаждения покрытий
3.1. Схема установки для химического газофазного осаждения покрытий
3.2. Типы реакторов
3.3. Транспорт реагентов
3.4. Отвод и утилизация продуктов процесса
3.5. Активация CVD процесса
4. Химическое газофазное осаждение вольфрама и его соединений из фторидных сред. Особенности процесса, механизм осаждения, свойства покрытий
4.1. Установка для химического газофазного осаждения покрытий на основе вольфрама и его соединений
4.2. Химический механизм синтеза вольфрама из смеси WF6 + H2
4.3. Химический механизм синтеза карбидов вольфрама из смеси WF6 + H2 + C3H8
4.4. Модель формирования наноструктур в карбидных слоях
4.5. Диаграмма состояния системы W–C
4.6. Микротвердость слоев системы W–C
4.7. Структура слоев системы W–C
4.8. Износостойкость слоев системы W–C
4.9. Коррозионная стойкость слоев системы W–C
4.10. Области применения покрытий системы W–C
Библиографический список