Технологическое вакуумное оборудование. Часть 1. Вакуумные системы технологического оборудования (Учебник для вузов)

Л. В. Кожитов, А. Ю. Зарапин, Н. А. Чиченев

Рассмотрены технологические основы проектирования и конструкции технологического вакуумного оборудования для выращивания монокристаллов полупроводников, газовой и жидкофазной эпитаксии, осаждения пленок в вакууме, изостатического прессования порошков. Изложена методика проектирования технологических линий для производства многослойных металлических материалов и её применение для создания технологических линий для получения прецизионной сталемедной проволоки, молибден-медной прямоугольной проволоки, многослойных лент из никеля и его сплавов, композиционного материала псевдосплав молибден — медь.
Предназначен для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 6516 «Технологические машины и оборудование» и 654100 «Электроника и микроэлектроника»; учебник может быть полезен студентам, аспирантам и преподавателям вузов, научным и инженерно-техническим работникам предприятий и организаций металлургической, машиностроительной и электронной промышленности.

ISBN: 5-8216-0037-5
Pages: 416
Binder: твердый
Publisher: ИД "Руда и Металлы"
Language: English
Publishing year: 2001

If you want order this book, you shold send your request to the books@rudmet.com.

Оглавление:

 

Предисловие

Введение

Глава 1. Теоретические основы вакуумной техники

1.1. Понятие о вакууме и давлении

1.2. Газовые законы

1.3. Средняя длина свободного пути молекул газа

1.4. Понятие о степенях вакуума

1.5. Физические процессы в вакууме

1.5.1. Вязкость газов

1.5.2. Теплопередача в вакууме

1.5.3. Диффузия в газах

1.5.4. Сорбционные явления в вакууме

1.6. Режимы течения разреженных газов

1.6.1. Основные понятия

1.6.2. Основные уравнения вакуумной техники

1.6.3. Режимы течения газов

1.7. Течение разреженных газов через диафрагмы

1.8. Течение разреженных газов в трубопроводах

Глава 2. Элементы вакуумных систем

2.1. Основные понятия и определения

2.1.1. Вакуумная система и её элементы

2.1.2. Оборудование для получения и поддержания вакуума

2.1.3. Средства для измерения и контроля вакуума

2.1.4. Условно-графическое изображение элементов вакуумных систем

2.2. Вакуумные камеры

2.2.1. Классификация вакуумных камер

2.2.2. Выбор типа и компоновка вакуумных камер

2.2.3. Вакуумные вводы

2.2.4. Расчет цилиндрических обечаек

2.3. Вакуумные трубопроводы

2.3.1. Конструктивные формы трубопроводов

2.3.2. Вакуумные клапаны

2.3.3. Противоаварийные и напускные устройства

2.4. Герметичные вакуумные соединения

2.4.1. Классификация вакуумных соединений

2.4.2. Разъемные вакуумные соединения

2.4.3. Неразъемные вакуумные соединения

Глава 3. Вакуумные насосы и агрегаты

3.1. Классификация и общие положения

3.2. Механические вакуумные насосы

3.3. Струйные вакуумные насосы

3.4. Сорбционные насосы

3.5. Вакуумные ловушки

3.6. Откачка химически активных газов

Глава 4. Техника вакуумных измерений и испытаний

4.1. Измерение давлений

4.1.1. Классификация методов измерения давлений

4.1.2. Жидкостные вакуумметры

4.1.3. Деформационные вакуумметры

4.1.4. Тепловые вакуумметры

4.1.5. Ионизационные вакуумметры

4.1.6. Измерение парциальных давлений

4.2. Испытания на герметичность

4.2.1. Основные понятия и определения

4.2.2. Классификация методов контроля герметичности

4.2.3. Методы течеискания

4.3. Испытания вакуумных насосов и агрегатов

Глава 5. Конструкционные материалы вакуумных систем

5.1. Классификация и основные требования

5.2. Стали и чугуны

5.2.1. Стали

5.2.2. Чугуны

5.3. Цветные и тугоплавкие металлы и сплавы

5.3.1. Цветные металлы и сплавы

5.3.2. Легкоплавкие металлы и сплавы

5.3.3. Тугоплавкие металлы и сплавы

5.3.4. Композиционные металлические материалы

5.4. Неметаллические материалы

5.4.1. Стекло и керамика

5.4.2. Пластмассы

5.4.3. Резины

5.4.4. Клеи

5.5. Материалы с малым газовыделением в вакууме

Глава 6. Нагрев в вакуумном технологическом оборудовании

6.1. Классификация методов нагрева и оборудования

6.2. Резистивный нагрев

6.2.1. Основные принципы

6.2.2. Материалы нагревателей

6.2.3. Конструкции нагревательных элементов

6.2.4. Расчет нагревательных элементов

6.3. Индукционный нагрев

6.3.1. Основные принципы

6.3.2. Индукционный нагрев в тигельных печах

6.3.3. Индукционные вакуумные печи

6.4. Электронно-лучевой нагрев

6.4.1. Параметры электронного луча

6.4.2. Схемы электронно-лучевых испарителей

6.5. Лучистый нагрев

6.6. Дуговой и плазменный нагрев

6.6.1 Условия возникновения электрического разряда в газах

6.6.2. Основные виды газовых разрядов

6.6.3. Плазма

6.6.4. Дуговой нагрев

6.6.5. Плазменный нагрев

6.6.6. Расчет дуговой вакуумной печи

6.7. Лазерный нагрев

Глава 7. Расчет вакуумных систем технологического оборудования

7.1. Анализ методов расчета вакуумных систем

7.2. Расчет распределения давлений в вакуумной системе

7.3. Соединение и согласование вакуумных насосов

7.4. Расчет газовых нагрузок

7.5. Методика расчета вакуумной системы технологического оборудования

Глава 8. Методика проектирования вакуумных систем технологического оборудования

8.1. Классификация вакуумного технологического оборудования

8.2. Функциональная схема работы и объектно-ориентированная модель вакуумной системы

8.3. Проектирование вакуумных систем технологического оборудования с применением баз данных

8.4. Дегазационный модуль линии производства стальных полос с газотермическими покрытиями

8.5. Низковакуумная защитная камера для прокатки биметалла

Список рекомендуемой литературы