Технологическое вакуумное оборудование. Часть 2. Расчет и проектирование вакуумного технологического оборудования (Учебник для вузов)
Л. В. Кожитов, А. Ю. Зарапин, Н. А. Чиченев
Рассмотрены технологические основы проектирования и конструкции технологического вакуумного оборудования для выращивания монокристаллов полупроводников, газовой и жидкофазной эпитаксии, осаждения пленок в вакууме, изостатического прессования порошков. Изложена методика проектирования технологических линий для производства многослойных металлических материалов и её применение для создания технологических линий для получения прецизионной сталемедной проволоки, молибден-медной прямоугольной проволоки, многослойных лент из никеля и его сплавов, композиционного материала псевдосплав молибден — медь.
Предназначен для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 6516 «Технологические машины и оборудование» и 654100 «Электроника и микроэлектроника»; учебник может быть полезен студентам, аспирантам и преподавателям вузов, научным и инженерно-техническим работникам предприятий и организаций металлургической, машиностроительной и электронной промышленности.
ISBN: 5-8216-0047-2
Pages: 456
Binder: твердый
Publisher: ИД "Руда и Металлы"
Language: English
Publishing year: 2002
If you want order this book, you shold send your request to the books@rudmet.com.
Оглавление:
Предисловие
Введение
Глава 9. Оборудование для выращивания монокристаллов полупроводников
9.1. Классификация кристаллизационных процессов выращивания монокристаллов
9.2. Технологические основы проектирования установок для выращивания монокристаллов методом Чохральского
9.3. Конструкция установки для выращивания монокристаллов методом Чохральского
9.4. Тепловые узлы установок для выращивания монокристаллов
9.5. Кинематические расчеты механизмов установки
9.5.1. Привод вращения тигля
9.5.2. Привод перемещения тигля
9.5.3. Привод вращения затравки
9.5.4. Привод перемещения затравки
9.6. Расчет и проектирование теплового узла
9.7. Система автоматизированного управления установкой
Глава 10. Оборудование для диффузии
10.1. Технологические требования к оборудованию для диффузии
10.2. Конструкции термических камер диффузионных печей
10.3. Система автоматического регулирования температуры
10.4. Элементы диффузионной системы
10.5. Ионная цементация в вакууме
10.6. Пайка в вакууме
Глава 11. Оборудование для газовой и жидкофазной эпитаксии
11.1. Технологические требования к установкам для эпитаксии
11.1.1. Общие сведения
11.1.2. Получение эпитаксиальных структур из газовой фазы
11.1.3. Получение эпитаксиальных структур из жидкой фазы
11.2. Реакторы для газовой эпитаксии
11.3. Системы оборудования для газовой эпитаксии
11.4. Аппаратурное оформление жидкофазной эпитаксии
Глава 12. Оборудование для осаждения пленок в вакууме
12.1. Технологические параметры и условия напыления пленок
12.2. Оборудование для осаждения пленок термическим испарением
12.3. Оборудование для катодного распыления материалов
12.4. Оборудование для ионно-плазменного напыления
Глава 13. Методика проектирования технологических линий для производства многослойных металлических материалов
13.1. Принципы построения технологических систем
13.2. Методика проектирования технологических линий
13.3. Функциональная структура объектно-ориентированной системы проектирования на основе банка знаний
13.4. Систематизация информационных исследований по производству многослойных металлических материалов
13.4.1. Классификация основных технологических процессов производства многослойных металлических материалов
13.4.2. Обобщенная функциональная схема работы и объектно-ориентированная модель линий для производства прецизионных многослойных металлических материалов
13.4.3. Разработка структуры баз данных для оборудования основных технологических процессов
Глава 14. Технологическая линия для производства прецизионной сталемедной проволоки
14.1. Функциональная схема работы линии
14.2. Объектно-ориентированная модель и технологическая схема линии
14.3. Конструкция модуля деформирования и сварки
14.3.1. Функциональная схема работы и объектно-ориентированная модель модуля
14.3.2. Математическая модель входного устройства
14.3.3. Математическая модель узла вывода биметаллической проволоки
14.3.4. Исследование и оптимизация конструкции модуля
Глава 15. Технологическая линия для производства молибден-медной прямоугольной проволоки
15.1. Технологическое обоснование схемы и состава оборудования линии
15.2. Математическая модель линии электропластической прокатки биметаллической проволоки с электроконтактным нагревом
15.3. Исследование математической модели линии
15.4. Опытно-промышленное опробование линии
Глава 16. Технологическая линия для получения многослойных лент из никеля и его сплавов
16.1. Технологическое обоснование схемы и состава оборудования линии
16.2. Алгоритмы расчета и выбора элементов оборудования линии из баз данных
16.3. Модуль электропластической прокатки трехслойных лент с применением электроконтактного нагрева
16.3.1. Функциональная схема работы и объектно-ориентированная модель модуля
16.3.2. Математическая модель прокатного модуля
16.3.3. Исследование и оптимизация параметров модуля соединения лент
16.4. Технологические линии для прокатки полос с газотермическими покрытиями из никеля и его сплавов
16.4.1. Исследование технологического процесса производства термобиметаллических полос
16.4.2. Разработка и исследование линии для получения полос с газотермическими покрытиями из никеля и его сплавов
Глава 17. Технологическая линия для получения композиционных материалов с основой из псевдосплава молибден — медь
17.1. Технологические основы проектирования линии
17.2. Модель линии и выбор оборудования из базы данных
17.3. Имитационное моделирование линии для получения композиционных материалов типа металл — металлокерамика
Глава 18. Оборудование для изостатического прессования
18.1. Основные закономерности изостатической обработки
18.2. Принцип действия и расчет основных параметров гидростатов
18.3. Оборудование для газостатической обработки
18.3.1. Принцип действия и устройство газостатов
18.3.2. Типовые рабочие циклы газостатов
18.3.3. Оснастка газостатов
18.3.4. Устройство и работа основных систем газостатов
18.3.5. Расчет силовых систем газостатов
Заключение
Библиографический список
Приложение
